激光微加工,也称为激光束微加工,是一种专门用于处理非常精细结构的激光加工技术,其加工精度通常在几微米到几百微米之间。尽管加工的零件本身不一定非常小,但至少在其上制造的结构(如孔、凹槽或图案)需要达到微米级的精度。这种高精度的要求使得激光微加工成为精密加工领域的一个重要分支,尽管精密加工并不总是等同于微加工。
激光微加工的典型方法包括钻孔、切割、铣削、标记和构造等。在这些方法中,微钻孔是最为常见的应用,从销售的机器数量来看,微钻孔占据了主导地位。值得注意的是,术语“加工”通常仅适用于减材方法,因此“激光微加工”这一术语比“微加工”更为通用,它还包括了微尺度上的激光增材制造方法(如立体光刻)和微连接方法(如微焊接和钎焊)。然而,由于减材方法在实际应用中占据主导地位,因此“微加工”这一术语比“激光微加工”使用得更为频繁。
与宏加工相比,激光微加工面临的竞争较少,同时一些典型的限制(如去除材料时相对较高的能量输入)也不太重要。这些因素,加上对各种微型零件需求的不断增长,使得激光微加工成为一种特别重要的激光应用。通过这种技术,中测光科相信可以实现对材料的高精度加工,满足现代工业对微型化、精密化零件的需求。